三菱電機(jī)在“第18屆微機(jī)械/MEMS展”（2007年7月25～27日于東京有明國(guó)際會(huì)展中心舉行）上展出了波長(zhǎng)為213nm、功率為10mW的固體激光器。此前，該公司曾于2007年2月向媒體發(fā)布過(guò)該開(kāi)發(fā)品，面向公眾發(fā)布尚屬首次（參閱本站報(bào)道）�！伴_(kāi)發(fā)能夠利用213nm短波長(zhǎng)獲得10W高功率的深紫外激光器還從未有過(guò)”（該公司）。雖然該成果目前還在研究階段，但有望應(yīng)用于可視光及紅外激光難以進(jìn)行的透明材料微加工用途。  

    通常情況下，波長(zhǎng)213nm的激光可以通過(guò)非線(xiàn)形光學(xué)晶體對(duì)YAG激光器輸出的光進(jìn)行波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換得到。但是難以獲得高功率。為此三菱電機(jī)主要通過(guò)兩方面的改進(jìn)提高了功率，即通過(guò)提高波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換使用的非線(xiàn)形光學(xué)晶體的品質(zhì)使輸出高功率成為可能，以及提高了YAG激光器的功率。  

　　 波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換使用的非線(xiàn)形光學(xué)晶體采用CLBO晶體（硼酸銫鋰）。由于受到雜質(zhì)的影響，之前最多只能輸出5～6W的功率。通過(guò)與大阪大學(xué)的聯(lián)合研究，三菱電機(jī)通過(guò)確立去除雜質(zhì)的方法，得到了10W數(shù)量級(jí)的功率。  

　　 YAG激光器在維持光束品質(zhì)為高斯光束的同時(shí)，把功率從現(xiàn)有的200W提高到了300W。由9個(gè)振蕩基本單元連接組成。通常情況下，YAG激光器會(huì)受到熱透鏡軸偏移的影響，很難在維持光束品質(zhì)的同時(shí)，使功率達(dá)到300W數(shù)量級(jí)。為此，三菱電機(jī)導(dǎo)入擴(kuò)散反射集光器、通過(guò)使冷卻水形成渦流均勻除去YAG晶體熱量，實(shí)現(xiàn)了高功率化。