已經大規(guī)模運用于工業(yè)應用的激光技術
目前成熟的激光加工技術大致包括:激光焊接技術、激光打孔技術、激光切割技術、激光打標技術、激光去重平衡技術、激光蝕刻技術、激光微調技術、激光存儲技術、激光劃線技術、激光清洗技術、激光熱處理和表面處理技術。
激光切割技術可廣泛應用于金屬和非金屬材料的加工中,可大大減少加工時間,降低加工成本,提高工件質量。脈沖激光適用于金屬材料,連續(xù)激光適用于非金屬材料,后者是激光切割技術的重要應用領域。
激光焊接技術具有溶池凈化效應,能純凈焊縫金屬,適用于相同和不同金屬材料間的焊接。激光焊接能量密度高,對高熔點、高反射率、高導熱率和物理特性相差很大的金屬焊接特別有利。
激光打孔技術具有精度高、通用性強、效率高、成本低和綜合技術經濟效益顯著等優(yōu)點,已成為現代制造領域的關鍵技術之一。
激光切割技術可廣泛應用于金屬和非金屬材料的加工中,博業(yè)激光切割機可大大減少加工時間,降低加工成本,提高工件質量。脈沖激光適用于金屬材料,連續(xù)激光適用于非金屬材料,后者是激光切割技術的重要應用領域。
激光打標技術是激光加工 大的應用領域之一。激光打標是利用高能量密度的激光對工件進行局部照射,使表層材料汽化或發(fā)生顏色變化的化學反應,從而留下永久性標記的一種打標方法。激光打標可以打出各種文字、符號和圖案等,字符大小可以從毫米量到微米量級,這對產品的防偽有特殊的意義。準分子激光打標是近年來發(fā)展起來的一項新技術,特別適用于金屬打標,可實現亞微米打標,已廣泛用于微電子工業(yè)和生物工程。
激光去重平衡技術是用激光去掉高速旋轉部件上不平衡的過重部分,使慣性軸與旋轉軸重合,以達到動平衡的過程。激光去重平衡技術具有測量和去重兩大功能,可同時進行不平衡的測量和校正,效率大大提高,在陀螺制造領域有廣闊的應用前景。對于高精度轉子,激光動平衡可成倍提高平衡精度,其質量偏心值的平衡精度可達1%或千分之幾微米。
激光蝕刻技術比傳統的化學蝕刻技術工藝簡單、可大幅度降低生產成本,可加工0.125~1微米寬的線,非常適合于超大規(guī)模集成電路的制造。
激光微調技術可對指定電阻進行自動精密微調,精度可達0.01%~0.002%,比傳統加工方法的精度和效率高、成本低。激光微調包括薄膜電阻(0.01~0.6微米厚)與厚膜電阻(20~50微米厚)的微調、電容的微調和混合集成電路的微調。
激光存儲技術是利用激光來記錄視頻、音頻、文字資料及計算機信息的一種技術,是信息化時代的支撐技術之一。
激光劃線技術是生產集成電路的關鍵技術,其劃線細、精度高(線寬為15~25微米,槽深為5~200微米),加工速度快(可達200毫米/秒),成品率可達99.5%以上。