摘要：激光清洗技術(shù)是一種新的高效無污染的清洗技術(shù)，與傳統(tǒng)的清洗技術(shù)相比有很大的優(yōu)勢。在工業(yè)生產(chǎn)中，也常常需要用到清洗技術(shù)。概述了激光清洗技術(shù)在微電子器件清洗、航空制造業(yè)、模具清洗等領(lǐng)域的應(yīng)用。 關(guān)鍵詞：激光；非接觸；“綠色”清洗；工業(yè)應(yīng)用    

    1. 前言  

　　隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，激光清洗技術(shù)應(yīng)運而生。  

　　激光清洗技術(shù)是指采用高能激光束照射工作表面，使表面的污物，銹斑或涂層發(fā)生瞬間蒸發(fā)或剝離，高速有效地清除清潔對象表面附著物或表面涂層，從而達到潔凈的工藝過程。它是一種非接觸加工，可方便地實現(xiàn)遠距離操作，可以通過光導(dǎo)纖維傳輸與機器人或者機械手聯(lián)合，方便地實現(xiàn)自動化操作；能清洗傳統(tǒng)方法不易達到的部位；去污成本低；可以選擇性地清洗材料表面的污物，不損傷材料的內(nèi)部組成和結(jié)構(gòu)。 

　　在工業(yè)生產(chǎn)中，常常需要用到清洗技術(shù)。例如，工業(yè)制品在電鍍、磷化、噴涂、焊接、包裝以及集成線路的裝配時，為保證下道工序中工件的質(zhì)量，必須除去產(chǎn)品表面上的油脂、灰塵、銹垢或殘留的溶劑、粘結(jié)劑等污物。
   
    2. 激光清洗的原理  

　　激光同電子束和離子束統(tǒng)稱為高能束，共同特點是束流攜帶著很高的能量在空間傳輸，通過聚焦，在焦點附近可得到104～1015W／cm2功率密度的照射，是強度最高的熱源。激光具有高亮度，高方向性、高單色性和高相干性的特點，這是普通光源所無法比擬的。利用激光的高亮度，經(jīng)過透鏡聚焦后，能在焦點附近產(chǎn)生上千度甚至上萬度的溫度。激光的高方向性使得激光能有效進行長距離傳輸。激光的單色性極高，波長單一，有利于聚焦和波長選擇。  

　　激光器發(fā)出的激光從光纖中傳輸?shù)骄劢圭R頭，聚焦后從噴嘴內(nèi)孔抵達需清洗工件表面。通常使用噴嘴，借助于與激光同軸的小孔噴嘴將具有一定壓力的氣體吹到清洗區(qū)。氣體由輔助氣源提供，其主要作用為防止鏡頭被飛濺物和煙塵污染，并起到凈化工件表面，強化激光與材料的熱作用。  

    物體表面附著的細微顆粒主要有氧化物和灰塵。激光清洗顆粒的機制是在激光束輻射下顆粒的熱膨脹、基體表面的熱膨脹和施于顆粒的光壓等三種。當(dāng)這些作用力的合力（清洗力）大于物體表面對顆粒的粘著力時，顆粒就會脫落，而得到清洗[1]。   

    3. 激光清洗技術(shù)的方法和特點 
  
    激光清洗方法有4種[4]： 
  
　�、� 激光干洗法，即采用脈沖激光直接輻射去污；
   
　�、� 激光＋液膜方法，即首先沉積一層液膜于基體表面，然后用激光輻射去污；當(dāng)激光照射于液膜上時，液膜急劇受熱，產(chǎn)生爆炸性汽化，爆炸性沖擊波使基體表面的污物松散。并隨沖擊波飛離加工物體表面，達到去污的目的。
   
　　⑶ 激光＋惰性氣體的方法，即在激光輻射的同時，用惰性氣體吹向基體表面，當(dāng)污物從表面剝離后會立即被氣體吹離表面，以避免表面被再次污染和氧化；