激光位移計在位移感測的傳感器來說是較高貴的，但因其較不受待測物材質(zhì)的限制，因此有些實驗還是得忍痛采用。

    一般激光位移計包含一光發(fā)射組件及一位置傳感器(PSD)，利用入射及反射光間三角函數(shù)的關(guān)系來得到待測物距離。半導體激光的光源經(jīng)過發(fā)設透鏡將光束聚焦于待測物上，待測物反射光束經(jīng)接收透鏡聚焦于位置傳感器(PSD)上形成一光點，此光點位置隨著待測物位置改變而改變，因此位移可由此測得。

    傳統(tǒng)的PSD位置感測是感測投射到光點的位置，取其中心點為其位置，但取中心點的演算結(jié)果與實際位移誤差較大因為光點的量度分布并不是均勻的。因此新的CCD傳感器采用光點中 亮的那點為其位置，因此CCD的精度較傳統(tǒng)的PSD為高。