窄脈寬、短波長(zhǎng)紫外二極管泵浦固體激光器（DPSS）的 新進(jìn)展促進(jìn)了工業(yè)生產(chǎn)系統(tǒng)的發(fā)展。過(guò)去，DPSS激光器比較適用于科研而不適于工業(yè)生產(chǎn)。隨著DPSS激光器的進(jìn)展，現(xiàn)已開(kāi)辟出很多可能的應(yīng)用，包括紅外、脈沖連續(xù)波以及Q開(kāi)關(guān)產(chǎn)生具有多脈沖寬度的脈沖光波。與其他種類的激光器相比，DPSS激光器在調(diào)控脈沖形狀、重復(fù)頻率和光束質(zhì)量等方面具有較大的靈活性，其生成的諧波允許用戶獲得適于多種材料加工的較短波長(zhǎng)的光束。

    激光器的選擇不僅與應(yīng)用有關(guān)，而且與激光束的特性直接相關(guān)。例如，用于大面積圖形加工的準(zhǔn)分子激光器能發(fā)出具有較低脈沖重復(fù)頻率（一般低于1kHz）的較粗光束。準(zhǔn)分子能產(chǎn)生具有中等脈沖重復(fù)頻率的高脈沖能量的激光束。目前所使用的基于Nd∶YVO4的DPSS激光器能產(chǎn)生大約1?滋m波長(zhǎng)的紅外光束，利用諧波振蕩器進(jìn)行二倍頻（輸出綠光）、三倍頻（輸出近紫外光）或者四倍頻（輸出深紫外光）。

1 光子的成本費(fèi)用

    利用紫外DPSS激光器產(chǎn)生光子的成本費(fèi)用要高于用準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)生光子的費(fèi)用，但相比之下，紫外DPSS激光器具有加工處理速度快、靈活性大、光束利用效率高和生產(chǎn)率高等優(yōu)點(diǎn)。在許多應(yīng)用中，如芯片劃割或打細(xì)孔等，這些優(yōu)點(diǎn)足以彌補(bǔ)差額費(fèi)用；而準(zhǔn)分子激光器在退火中的泛光束曝光和用近場(chǎng)掩模成像的大面積圖形加工處理（在這里掩模具有勻化光束的作用）中仍占優(yōu)勢(shì)。

    一個(gè)100W的準(zhǔn)分子激光器能輸出大約60W的有效運(yùn)轉(zhuǎn)功率。100W激光器的平均售價(jià)大約為14萬(wàn)美元，每瓦的輸出功率成本費(fèi)用約為2300美元。相比之下，一個(gè)輸出功率為2W的266nm的DPSS激光器系統(tǒng)的價(jià)格為13萬(wàn)美元，每瓦的成本實(shí)際上為65000美元。因此，準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)生光子的成本費(fèi)用遠(yuǎn)低于紫外光子的成本費(fèi)用。若用光子泛光照射以去除芯片上的大量材料，準(zhǔn)分子激光器系統(tǒng)的性價(jià)比無(wú)疑是 合適的；但若是把同樣的芯片切割成小塊，用紫外光子則能使加工成本降低3倍，因?yàn)槔�用紫外光子能把切割線寬從準(zhǔn)分子激光束的15?滋m縮小至5?滋m。

    如果準(zhǔn)分子激光器不使用昂貴的光學(xué)系統(tǒng)，則不能聚焦成5?滋m小的光斑，而DPSS激光器使用較便宜的光學(xué)系統(tǒng)就能聚焦成5?滋m的光斑。實(shí)際上，2W的DPSS激光器相當(dāng)于6W的準(zhǔn)分子激光器。如果6W準(zhǔn)分子激光器是60W激光器系統(tǒng)使用其10%的時(shí)間來(lái)獲得的，那么在這種應(yīng)用中，DPSS激光器具有較高的性價(jià)比。

    在20世紀(jì)90年代中期，人們開(kāi)始用準(zhǔn)分子激光器切割藍(lán)光發(fā)光二極管的芯片和宇宙飛船組件上的藍(lán)寶石芯片。1998~1999年，利用準(zhǔn)分子激光器系統(tǒng)中25%的激光束每小時(shí)能生產(chǎn)3個(gè)芯片，使用復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光束進(jìn)行幾何分光、 優(yōu)化，然后將光束重新聚焦到芯片上。

    激光公司現(xiàn)已成功研制出一種性能可靠的266nm短脈沖DPSS激光器，通常使用355nm和266nm這兩種波長(zhǎng)。采用這種激光器可提高芯片的加工產(chǎn)量，每小時(shí)能加工8~10塊芯片。

    當(dāng)為某一種應(yīng)用優(yōu)化設(shè)計(jì)DPSS激光器時(shí)，一個(gè)可以聚焦得相當(dāng)好的光束允許用戶把很多光能集中到一個(gè)很小的光斑內(nèi)。這種優(yōu)化設(shè)計(jì)的激光器可進(jìn)行多種加工任務(wù)，例如機(jī)械加工凹槽和比較深的孔。與難以聚焦成小光斑的較低亮度的激光束相比，DPSS激光器只須較少的光功率。