近日，中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會、中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會、中國電子材料行業(yè)協(xié)會和《中國電子報》聯(lián)合舉辦了2007年度中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎評選。中科院光電所研發(fā)的URE-2000系列紫外深度光刻機(jī)在評選中脫穎而出，獲得殊榮。 

    該系列產(chǎn)品在分辨力增強(qiáng)技術(shù)、掩模對準(zhǔn)技術(shù)、均勻照明曝光技術(shù)、工件臺技術(shù)、線條側(cè)壁增陡技術(shù)等關(guān)鍵單元技術(shù)上取得了新的突破，尤其在深度光刻中具有特色，對開展微電子、微光學(xué)、微機(jī)械系統(tǒng)、紅外器件、準(zhǔn)LIGA及聲表面波等器件的研制和生產(chǎn)具有廣泛用途。產(chǎn)品以其領(lǐng)先的技術(shù)、突出的功能、可靠的品質(zhì)和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)，為國內(nèi)外高等院校、科研單位、器件生產(chǎn)企業(yè)開展微細(xì)加工技術(shù)創(chuàng)新和生產(chǎn)提供了優(yōu)良裝備，受到國內(nèi)外眾多用戶的青睞和好評，有力地促進(jìn)了我國微細(xì)加工技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷朝鮮、新加坡、越南等國。 

    據(jù)悉，此次參選的創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)范圍包括集成電路產(chǎn)品、集成電路制造技術(shù)、半導(dǎo)體器件、封裝與測試技術(shù)、半導(dǎo)體設(shè)備與儀器、半導(dǎo)體材料。評選條件是產(chǎn)品必須擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，具有創(chuàng)新性和先進(jìn)性，產(chǎn)品或技術(shù)已經(jīng)得到實際應(yīng)用，并在產(chǎn)業(yè)化方面取得一定進(jìn)展，研發(fā)主體為國內(nèi)企事業(yè)單位。